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合资协议签订后不久,兆光株式会社就通过北光厂采购了一台193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源。
这台光源很快就被运到了小日子本土,被兆光株式会社的研发工程师们在实验室内,经过专业测试后就拆解了!
经过大量测试,兆光株式会社的工程师们得到了这台光源的详细数据。
“工作物质ArF
波长(nm)193
最大重复频率(Hz)2005001000
稳定脉冲能量(mJ)6
稳定脉冲功率(W)1.23.06.0
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能量稳定性(sigma,%)2
光束尺寸(FWHM,VxHmm)6x3
光束发散(FWHM,VxHmrad)2x1
脉宽(FWHM)(ns)5-105-105-10”
他们最后得到的结论就是这台光源具有“坚固设计、电晕预电离、固态电路、管道技术、激光能量监测、紧凑型准分子激光器,单相电、高可靠性、均匀光束轮廓、即时可用,无老化、全金属密封管、数十亿脉冲的超长寿命激光能量稳定、易于操作,易于集成”这些技术优点。
松目一根得知了结果之后问研发部门的负责人栗山泰三:“栗山君,我们能仿制出这台193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源吗?”
栗山泰三摇了摇头:“目前还不行,有些技术我们也需要时间消化吸收!”
松目一根问道:“那你估计需要多长时间?”
栗山泰三默默的估算了一下说道:“最快也需要一年左右的时间,这还是一切顺利的情况下,如果中间出现问题,时间还会往后顺延!”
松目一根哀叹道:“那就太迟了,如果我们不能尽快的得到这项技术,我们会失去很多客户的,到那个时候我们就只有破产了!”
而尼康跟佳能也分别从华虹采购了一台光源,尼康跟佳能分别进行整机组装,用组装出来的光刻机进行一些技术测试。
而安装了193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源的尼康光刻机,经过流片测试,最大精度可以达到惊人的165纳米,这是目前尼康取得的最好精度了。
尼康随即就向华虹公司发出了订单,要求订购这款光源,而不久之后佳能也同样向华虹下了二十台光源的订单!
大量的订单出现让华虹的总经理乔栋才又喜又忧,喜的是产品受到追捧热销,忧得的是产量上不去,推掉了不少订单!
作为华虹的大股东北光厂的米宝章催着乔栋才:“老乔,你赶紧跟从总说啊,让他催催华光的高精度镜片,那么多的订单都推掉了,这可都是钱啊!”
乔栋才没好气的看了看米宝章说道:“我知道,还用你提醒啊!我已经问过了,从总会尽力帮我们解决的!”
华虹193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源的热销,使得华虹目前可以自己养活自己了,不用再向以前那样依靠华天科技供养了,这也让华天科技少了一笔支出,让马友明松了一口气!
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